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苏州柔陶新材料有限公司
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高纯度纳米氧化铝分散液
该产品使用纳米ɑ-Al2O3，制备高纯度、高固含量，低粘度的纳米分散液，其具备优异的分散性和 稳定性，颗粒尺寸分布狭窄，不易二次团聚，可以长期存储稳定无沉淀。产品优势：更高的抛光去除率、更少的划伤、更低表面粗糙度、无需再分散、更易操作
产品参数 抛光参数
型 号 | JAN80 | JS200 | JB200 | JB500 | |
外观 | 白色液体 | ||||
晶型 | ɑ相 | ||||
二次粒径D50(μm） | 0.1-0.15 | 0.15-0.2 | 0.15-0.2 | 0.5-0.6 | |
pH | - | 酸碱性可调 | |||
固含量 | % | 20-30 | |||
纯度 | % | >99.99 | 99.9 | ||
包装 | 25kg/桶（电子级PE塑料桶），避光、通风、密封保存 | ||||
型 号 | JS200 | JB200 | JB500 | ||
抛光液参数 | 氧化铝含量5%，高锰酸钾含量3% | ||||
PH | 酸性 2-3，碱性8.5-9.5 | ||||
抛光工艺 | 6寸碳化硅衬底片，8PSI，1.5L/h循环流量，60rrp转速 | ||||
酸性 | Si面 | MRR(um/h) | 5-6 | 5-6 | 6-7 |
Ra值(nm) | <0.2 | <0.2 | <0.2 | ||
碱性 | Si面 | MRR（um/h） | 3.5-4 | 3.5-4 | 4-5 |
Ra值(nm) | <0.2 | <0.2 | <0.2 | ||
应用领域
芯片 二三代晶圆 液晶显示屏图层
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企业名称
苏州柔陶新材料有限公司企业类型
有限责任公司信用代码
91320507MA20NEMN22法人代表
顾红华注册地址
苏州市相城区阳澄湖镇凤阳路432号8号楼东侧一、二层成立日期
2019年12月23日注册资本
583.333万元整有效期限
经营范围
新材料科技领域的技术开发、技术咨询、技术转让、技术服务；研发、销售：复合材料、陶瓷材料及制品、纳米材料、陶瓷粘合剂、陶瓷原辅料、抛光用品（以上均不含危险品）。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动） 一般项目：货物进出口；技术进出口；石墨及碳素制品销售；特种陶瓷制品制造（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。
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